یون گیری واکنشی- PECVD- Ashing- پراکنده کردن مایعات- شیمی پلاسمایی- فیزیک پلاسما- عکس العمل سطوح نسبت به یکدیگر
سخنران: Herbert H.Sawin
پروفسور مهندسی شیمی و مهندسی برق و علوم کامپیوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (MIT)، شهر کمبریج، MA
پیشنهادهای فهرست شدة سمینار: July 8-12,2002کمبریج، ماساچوست
1-معرفی
2-سیفتیک گازی (Gas Kinetics)
مقدمه : 3
2-سیفتیک گازی (Gas Kinetics) 5
3-فیزیک پلاسما 6
تنظیم الکترودها 8
4-تخلیه های مدار مستقیم (DC) 8
5-تخلیه های Rf 9
پیکره بندی و سخت افزار رآکتور 9
طیف نگاری تخلیه اپتیکی 12
8-الکترون گیری جلوه ها 12
9-مدل سازی سه بعدی از عوارض زمین و عوارض جغرافیایی 13
10-تخریب پلاسما 14
13-پردازش کار با پلاسما در سطو بزرگ 16
14-رآکتورهای لایه لایة ستونی ماکروویو که در فشارهای بالا عمل می کنند 17
15-فرآیند پلاسمای غیر میکروالکترونیک 18
معرفی سمینار (همایش) 19
نقطه نظر (موضع) یا موضوع مورد بحث سمینار 20
شرح حال و تحقیق اخیر آقای Herb Sawin 21
مقالات نمونه در سمنیار Sample Seminar Notes 35
«بارگذاریهای آزمایشی» 62
مقالات اخیر هرب ساوین 65
مراجع 66
شامل 65 صفحه فایل word