شامل 56 صفحه فایل ورود .
فهرست مطالب شماره صفحه
مقدمه 4
انواع سویچ ها 4
کاربردهای سویچ های میکروالکترومکانیکی 7
دسته بندی سویچ ها 8
روش های راه اندازی سویچ 10
ساختار مکانیکی سویچ 11
محاسبه ثابت فنر 12
انحنای بیم به علت یکسان نبودن استرس در طول آن 17
ثابت فنر ناشی از استرس پس ماند 81
اثر حفره ها روی سطح بیم 19
ثابت فنر برای بیم های با K کوچک 21
آنالیز دینامیک خطی بیم 22
محاسبه زمان سوئیچینگ 32
راهاندازی الکترواستاتیکی 25
ولتاژ لازم برای پایین نگه داشتن بیم متحرک 28
سوئیچ های خازنی خود راه انداز 29
اثر تغییر دما و نیرو روی عملکرد سویچ 31
مدل مداری سویچ 33
پارامترهای پراکندگی 34
تلفات 35
سوئیچ های جانبی 38
آشنایی با سویچ 43
بررسی مساله چسبندگی در سویچ های میکروالکترومکانیکی 44
پروسه ساخت 48
نمونه ای از سویچ های ارائه شده در مقالات 50
مراجع 56