فرمت فایل : word(قابل ویرایش)
تعداد صفحات:33
فهرست مطالب:
2-3-1 انتخاب کاتدی هدف و تکنیکهای علمی:
2-3-2 انتخاب مواد زیر لایه:
2-3-3 پارامترهای مؤثر بر رسوب پوششها:
2-3-3-2 تأثیر فشار گاز
* magnetron sputter desopsition
.arc ceposited coating
2-3-3-3 تأثیر ولتاژ bias زیر لایه:
2-3-3-4 تأثیر دانستیه قدرت مغناطیسی
2-3-5 سختی و مرحلیانگ N (Al وTi )
6-3-2 اثر لایة میانی بر چسبندگی پوشش:
2-3-7 زبری سطح مورد پوشش
4-1-2 سختی داغ
4-1-3 تست TRS ( استحکام برشی عرضی)
4-3مقاومت به اکسیداسیون
4-4 مقاومت خوردگی
4-5 خواص ماشینکاری
4-5-1 مقایسه طول عمر نسبی پوششها
4-6 ماشینکاری تحت شرایط خشک:
4-7 خواص سایشی
پوششهایN (AlوTi) بروی زیر لایههای متفاوت با استفاده از تکنیکهای مختلف PDV و انواع گوناگون کاتد/ هدف( بطور مثال آلیاژ یا فلز خالص) ایجاد میگردند. موادس زیرلایه شامل انواع مختلفی از ابزارهای صنعتی و مواد قالب میباشد. ژنراتورهای مؤثر بر رسوب که در اینجا بررسی میشوند قابل جریان کاتدی( در حالت کاتد فلز)، ولتاژ bias زیر لایه فشار جزئی گاز، لایة میانی بین پوشش و زیر لایه و دانستیه قدرت مغناطیسی میباشد. این پارامترها اصولاَ بر ترکیب، سختی، خواص سایشی و مورفولوژی پوشش اثر میگذارد. خواص پوشش به تکنیکPVD استفاده شده نیز وابسته میباشد.
2-3-1 انتخاب کاتدی هدف و تکنیکهای علمی:
کاتدیهای فلز خالص یا آلیاژ توسط تکنیکهای منفاوت در عملیاتPVD استفاده میشوند. Han و همکارانش از کاتد دو بخشی Ti و Al خالص استفاده کردند. آلیاژ TiAl کاتد با نسبت
و نیز استفاده گردیدهاند. آلیاژ کاتدی شامل17 و3 درصد Al نیز آزمایش گردیدهاست Coll و همکارانش کاتدی با نسبت وزنیTi به Al را بررسی نمودهاند. حتی کاتدیهای ریختگی تولید شده ب روش متالوژی پودر نیز مقایسه گردیهاند. در این روشها برروی هدف Ti خالص چندین سوراخ با قطر5-6mm ایحاد گردیده و سوراخعا توسط مذاب خالصAl پر میگردند. مقادیر Al مختلف در کاتد با تعداد سوراخها تغییر مییافت.
Huang and Duh موفق به ایجاد پوشش N (Al, Ti ) شامل 27-50% Al توسط دو روش کاتد رختگی و متالوژی پودر گردیدند.
2-3-2 انتخاب مواد زیر لایه:
همانطور که درجه حل دو دیده میشود انواع مختلفی از زیرلایهها که شامل ابزارهای صنعتی و قالبها میباشند جهت ایجاد پوشش N(Ti,Al ) استفاده گردیدهاند. مانند کاربیدها، سرتها فولاد تند بر معمولیترین مواد ابزاری مورد استفاده در صنعت جهت عملیات ماشینکاری مختلف مانند برش فلزات، سوراخکاری و براده برداری میباشند.فولاد دمای کار گرم و ماراجینگ نیز عموماَ جهت قالبهای اکستروژن استفاده میگردند.
جدول 2 –
2-3-3 پارامترهای مؤثر بر رسوب پوششها:
در حالت کاتدهایTi,Al ترکیب پوشش توسط کنترل نسبت جریان در ولتاژ قوس ثابت ترکیب هدف( نسبت Tiبه Al در هدف) ولتاژ bias ، فشار جزئی گارز بر خواص سایشی پوشش تأثیر دارند از سوی دیگر جریان قوس، رسوب لایة میانی و شرایط زیر لایه تأثیر کنترل بر خواص نهایی پوشش دارند.
* magnetron sputter deposition
در رسوب برداشت مغناطیسی پارامترهای دانستیه قدرت مغناطیسی و فشار جزئی گاز (32و25و22) تأثیر بسزایی در خواص پوشش دارند.
2-3-3-1 تأثیر ترکیب کاتد
رسوب پوششهایN (Ti,Al ) در نسبتهای اتمی متفاوت از 49/0 تا 29/1 مورد بررسی قرار گرفت. بیشترین سختی در نسبت اتمی معادل بدست میآید.
Lin همکارانش نشان دادند که پوشش بتولیدی با نسبت نسبت به خواص مقاومت سایشی بهتری از خود نشان میدهد. سختی پوشش تحت تأثیر مقادیر مختلفTiو Al در پوشش تغیر میکند. در فیلم بااستفاده از مقادیر 0/1تا ترکیبات مختلف بدست آمد.(10و12)میکرو هارونس فیلم به تدریج از Gpa 6/19 (Hv 2000) تا مقدار ماکزیمم
Gpa 4/31 (Hv 3200) در نسبت60%Al= که در شکل 4 دیده میشود ا فزایش یافته و افزایش بیشتر Al سبب افت ناگهاتی سختی فیلم به مقادیرGpa 7/13(Hv 1400) در 90% Al= که در شکل 4 دیده میشود افزایش یافته و افزایش بیشتر Al سبب افت ناگهانی سختی فیلم به مقادیر
Gpa 7/13(Hv 1400)در 90 Al= گردیده است.
علاوه بر ارکیب آلیاژ کاتد با مقدار ولتاژ bias زیرلایه نیز تعیین کننده میزان Al در پوشش است که در بخش 2-3-3-3 بحث میگردد.